1.無法達到極限壓力
可能的原因是管道，系統或泵部件泄漏，前級泵的極限壓力低，潤滑油質量太差，油封不好。維護方法是檢查系統的泵，修理和糾正前級泵，并更換潤滑油或油封。
2.抽速低
可能的原因是管道通道容量低，前級泵的泵速低。這時，有必要增加管道的管道容量，修理或更換前級泵。
3.電機過載
原因可能是入口處的壓力太高，轉子的端面與端蓋的單側接觸，并且前級泵將油返回到羅茨真空泵的泵室中。這是需要調整壓力，轉子和設備的防返回設置。
4.在極端壓力下工作
在極端壓力的工作狀態下，由于真空泵旋轉得非常快，因此氣體不會通過殼體表面散熱。由于溫度突然升高，轉子和殼體之間的間隙變小，真空泵停止工作。在其他情況下，真空泵將不能產生真空。
5.羅茨真空泵過熱
前級泵的抽速低，導致壓縮比大，入口壓力過高，冷卻效果差，齒輪，軸承和油封潤滑劑性能差。此時，有必要更換前級泵，調整入口壓力，調整油量以增加冷卻水，確保潤滑劑的質量和計量，并防止過熱和泵組件的任何損壞。
6.羅茨真空泵運行期間有噪音
羅茨泵的位置不正確，需要進行調整。在工作過程中，更多大顆粒進入羅茨泵腔內部，造成磨損和噪音。啟動時的設定壓力也可能太大而不會導致真空泵的部件過熱而損壞。
7.液體進入泵體
液體的突然侵入會導致羅茨真空泵的損壞，因為在快速冷卻的情況下，氣體不能達到所需的溫度以蒸發液體，并且蒸汽不能及時從泵中逸出。響應于這種情況，在處理室和羅茨泵之間需要接收器以吸收進入泵的液體以防止損壞羅茨真空泵。
8.外部灰塵累積
在灰塵顆粒或灰塵的過程中，可以在真空泵的入口處安裝灰塵過濾器，以保護羅茨泵和下游泵。
