水環(huán)真空泵
水環(huán)真空泵內(nèi)裝有帶固定葉片的偏心轉(zhuǎn)子，是將水（液體）拋向定子壁，水（液體）形成與定子同心的液環(huán)，液環(huán)與轉(zhuǎn)子葉片一起構(gòu)成可變?nèi)莘e的一種旋轉(zhuǎn)變?nèi)莘e真空泵。
水環(huán)真空泵（簡稱水環(huán)泵）是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa，與
真空泵組成機(jī)組真空度可達(dá)1~600Pa。水環(huán)泵也可用作壓縮機(jī)，稱為水環(huán)式壓縮機(jī)，是屬于低壓的壓縮機(jī)，其壓力范圍為1~2×10^5 Pa表壓力。
優(yōu)點
結(jié)構(gòu)簡單，制造精度要求不高，容易加工。
結(jié)構(gòu)緊湊，泵的轉(zhuǎn)速較高，一般可與電動機(jī)直聯(lián)，無須減速裝置。故用小的結(jié)構(gòu)尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。
壓縮氣體基本上是等溫的，即壓縮氣體過程溫度變化很小。
由于泵腔內(nèi)沒有金屬磨擦表面，無須對泵內(nèi)進(jìn)行潤滑，而且磨損很小。轉(zhuǎn)動件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。
吸氣均勻，工作平穩(wěn)可靠，操作簡單，維修方便。
缺點
效率低，一般在30%左右，較好的可達(dá)50%。
真空度低，這不僅是因為受到結(jié)構(gòu)上的限制，更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。用水作工作液，極限壓強(qiáng)只能達(dá)到2000~4000Pa。用油作工作液，可達(dá)130Pa。
總之，由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，故可以抽除易燃、易爆的氣體。由于沒有排氣閥及摩擦表面，故可以抽除帶塵埃的氣體、可凝性氣體和氣水混合物。有了這些突出的特點，盡管它效率低，仍然得到了廣泛的應(yīng)用。
螺桿真空泵
螺桿真空泵是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，在國內(nèi)制藥、化工、半導(dǎo)體等對清潔真空要求較高的企業(yè)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
優(yōu)點
工作腔及螺桿轉(zhuǎn)子表面有防腐涂層，可適應(yīng)惡劣工況
氣體在泵內(nèi)無壓縮，適宜抽取可凝性氣體
不耗油，無滴漏
結(jié)構(gòu)簡單，維護(hù)方便
被抽氣體直接排出泵體，不污染水，無環(huán)保壓力，氣體回收更便捷
缺點
由于螺桿泵加工難度大，我國使用的螺桿泵主要依靠進(jìn)口，價格比較昂貴
不適于抽除含有爆炸性的氣體
不適于抽除含氧過高的氣體
羅茨真空泵
羅茨真空泵（簡稱：羅茨泵）是指泵內(nèi)裝有兩個相反方向同步旋轉(zhuǎn)的葉形轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁間有細(xì)小間隙而互不接觸的一種變?nèi)菡婵毡谩?/span>
羅茨真空泵在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗，所以應(yīng)該在國內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。同時也廣泛用于石油、化工、冶金、紡織等工業(yè)。真空泵配件作為真空泵消音器，用于真空泵的噪聲治理。
優(yōu)點
在較寬的壓力范圍內(nèi)具有較大的抽速，啟動快
泵腔及轉(zhuǎn)子工作時為干式無油，對被抽氣體中的灰塵，水蒸汽不敏感，油蒸汽污染真空系統(tǒng)的情況比油增壓泵、油擴(kuò)散泵和油封機(jī)械泵要少得多。
由于動平衡較好，所以運轉(zhuǎn)時的振動小、噪聲低
驅(qū)動功率小，這是因為機(jī)械摩擦損失小
轉(zhuǎn)速高、體積小，可制成任何幾何抽速的泵
可凝性蒸汽對泵無影響，因為經(jīng)過泵時還沒壓縮到飽和蒸汽壓
與其它機(jī)械真空泵比較，節(jié)能效果顯著，且耗油量小。
缺點
對氫氣的抽氣效果比油增壓泵差，通過間隙返回的流量較大
泵的制造較復(fù)雜，特別是轉(zhuǎn)子型線，加工和檢查都比較困難，而油增壓泵結(jié)構(gòu)簡單，無大的運動部件，安裝較方便
不能單獨使用，須有前級真空泵組成機(jī)組形式使用。一般與前級泵的抽速比為1：2～1：10不等，為保護(hù)羅茨真空泵，須在機(jī)組中安裝過載保護(hù)裝置。
