羅茨水環泵真空機組

        這種機組主泵是羅茨泵，前級泵是水環泵或油環泵。主要用于真空壓力浸漬和真空冷凍干燥等設備中。羅茨水環泵機組常見的故障及消除方法見表1。

表1 羅茨水環泵真空機組常見故障及消除方法

羅茨滑閥泵或羅茨旋片泵機組

        這種真空機組主泵為羅茨泵，前級泵采用滑閥泵或旋片泵。在1×10- 3～10 Pa 范圍內有大抽速，結構緊湊，消耗功率小。真空機組常見故障及消除方法見表2。

表2 羅茨滑閥泵或羅茨旋片泵機組機組常見故障及消除方法